EUA 펠리클 삼성전자 도입시 관련주
안녕하세요 벨카입니다. 삼성전자는 올해 말 극자외선(EUV) 노광 공정에 펠리클을 채택할 것으로 보인다. 나는 그것에 대해 포스트를 만들 것이다. EUA 펠리클 펠리클이란? 펠리클은 노광 공정에서 발생할 수 있는 마스크(반도체 회로가 그려지는 기판)의 오염을 방지하는 부품이다. 웨이퍼에 엠보싱할 회로를 그리는 포토마스크의 덮개 역할을 합니다. EUV 펠리클 EUV 펠리클은 이물질을 차단하고 포토마스크가 오래가도록 도와줍니다. EUV 포토마스크는 수억원대이기 때문에 … Read more